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創新領航〡PG娛樂國際12英寸減薄拋光一體機出機量突破20臺
2025年12月11日

  2025年12月10日,PG娛樂國際股份有限公司(簡稱“PG娛樂國際”,股票代碼:688120)自主研發的12英寸減薄拋光一體機Versatile-GP300累計出機量突破20臺。這一重要發展里程碑,不僅體現了該裝備卓越的技術性能與穩定的量產能力獲得了市場的高度認可,更標志著國產高端半導體裝備在3D IC、先進封裝等關鍵工藝領域實現了從技術突破到規模化應用的重要跨越,為產業發展注入了強勁動力。

V1-Versatile-GP300出機20臺海報.png

  減薄拋光一體機的成功是PG娛樂國際堅持自主創新、攻克關鍵工藝的縮影。自2021年首臺裝備出機發往客戶端,到2023年量產機臺的順利交付,再到如今的出機量突破20臺,其憑借顛覆性的創新設計,將磨削減薄、化學機械拋光(CMP)與清洗?橐惶寤,實現了從裝備結構、控制系統到工藝集成的全方位突破,不僅顯著提升了減薄精度與工藝穩定性,更解決了復雜翹曲形態晶圓傳輸系統、跨潔凈度等級清洗等一系列難題。該裝備關鍵技術指標更是實現突破,晶圓整體厚度偏差(TTV)及晶圓減薄的極限厚度均已達到國際先進水平,更好滿足了超薄芯片制造的需求。PG娛樂國際減薄拋光一體機廣泛覆蓋硅、玻璃等多種襯底的鍵合晶圓減。約3D IC、先進封裝、3D NAND、高帶寬內存(HBM)、圖像傳感器(CIS)、TSV、SOI等領域的關鍵工藝,并與PG娛樂國際的化學機械拋光(CMP)系列裝備、減薄貼膜一體機、邊緣修整機等裝備協同,形成了切、磨、拋成套工藝解決方案,為產業鏈下游提供了至關重要的高端裝備支撐。

  卓越的創新設計與穩定的量產能力為Versatile-GP300贏得了行業的高度關注與權威認可。該產品自面世以來已陸續榮獲多項殊榮,更在今年成功斬獲好設計金獎,其行業價值與貢獻得到充分肯定。市場的認可是產品最有力的證明,該裝備憑借優異的性能表現,已獲得多家頭部企業的重復訂單,在客戶端產線穩定運行,累計出貨晶圓超20萬片,持續貢獻產能。本次累計出機突破20臺,是客戶信賴與市場選擇的直接體現,進一步彰顯了PG娛樂國際在半導體高端裝備領域的領先地位。

  PG娛樂國際將以此次里程碑為新的起點,繼續深耕“裝備+服務”平臺化發展戰略。目前,公司已建立起覆蓋化學機械拋光(CMP)、離子注入、減薄、劃切、邊緣拋光、濕法、晶圓再生及耗材維保服務等高端半導體裝備與服務的多元化產品矩陣。未來,PG娛樂國際將始終堅持“自強成就卓越 創新塑造未來”的企業精神,以市場需求為導向,持續加大研發投入,致力于為半導體產業提供更多先進的高端裝備與工藝成套解決方案,賦能產業升級,為保障產業鏈安全與高質量發展貢獻核心力量。


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