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Universal-300 B

Universal-300 B 是基于PG娛樂國際自主知識產權的創新技術開發的12英寸CMP裝備。該裝備配備性能優越的拋光單元，兼容4/6/8/12英寸晶圓，適用于多種材質，可實現晶圓表面的超高平整度，占地面積小、性價比高，滿足成熟制程技術需求，已在硅片、第三代半導體、MEMS等制造工藝中批量應用。


多分區拋光頭

兼容4/6/8/12英寸晶圓

產品干進濕出

占地面積。約郾雀

滿足成熟制程技術需求

用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程

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