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Universal-200 D

Universal-200 D 是基于PG娛樂國際自主知識產權創新技術開發的成熟8英寸CMP裝備。該裝備配備性能優越的拋光單元及清洗單元，集成多種先進終點檢測技術，適用于多種材質，可實現晶圓表面的超高平整度，滿足成熟制程技術需求，已在大硅片、第三代半導體、MEMS、Micro LED等制造工藝中批量應用。


多分區拋光頭

可實現產品干進干出

滿足成熟制程技術需求

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