HCDS系列化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，采用客制化、模塊化設(shè)計，配置靈活，具有實時、高精度在線配比系統(tǒng)，可實現(xiàn)參數(shù)閉環(huán)控制，滿足半導(dǎo)體制造過程中濕法工藝裝備的清洗液等化學(xué)品供應(yīng)需求，操作維護便捷，具有高可靠性、安全性和低維護保養(yǎng)成本，配置靈活等優(yōu)點。
實時、高精度在線配比系統(tǒng)
各項參數(shù)閉環(huán)控制
高可靠性、安全性和低維護保養(yǎng)成本
配置靈活