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Universal-TGS200

Universal-TGS200是一款第三代半導體材料（SiC）專用化學機械拋光裝備。該裝備配置了三組基于單盤雙頭架構的拋光？，集成后道清洗技術，支持晶圓正反拋光工藝，具有高度自動化和高加工效率的特性。其適用于SiC晶圓襯底制造、拋光耗材性能驗證、先進CMP工藝參數開發等領域。


3拋光盤6拋光頭，高拋光壓力，顯著提升SiC等高硬度產品的拋光效率

拋光頭可實現多區壓力控制，面型控制能力強

浸泡式和滾刷式清洗，可實現高潔凈度要求

自動翻面完成碳面硅面拋光，干進干出，適用于自動化產線

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