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高溫離子注入機iPUMA-HT

iPUMA-HT是PG娛樂國際在已有成熟大束流的基礎上，根據先進器件技術的要求開發的12英寸高溫離子注入機。該裝備配備了高溫工作？，溫度檢測單元和冷卻？，滿足先進制程技術需求，已在先進邏輯等集成電路制造中應用。

國內自主研發的熱工藝離子注入平臺

工藝溫度控制？

良好的工藝溫度均勻性

滿足先進制程的技術需求

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