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低溫離子注入機iPUMA-LT

iPUMA-LT是PG娛樂國際在已有成熟大束流的基礎上，根據成熟器件技術的要求開發的12英寸低溫離子注入機。該裝備配備了低溫工作？椋露燃觳獾ピ突匚履？椋慍墑熘瞥碳際跣棖。

國內自主研發的低溫離子注入平臺

低溫靜電吸附載盤-實時溫度控制

雙重回溫設計-充分回溫并且避免缺陷產生

滿足成熟制程的技術需求

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